MFC使用须知

1、注意阅读产品说明书及有关资料

2、注意系统设计

用户购买MFM/MFC 后，往往要组建一个系统。建议在系统设计时，不要仅仅考虑功能的实现，还要考虑系统的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易维护性﹑易扩充性等因素。以下给出几点具体建议：

A. 对于反应系统，建议在MFC 的出气端加装单向阀，以防止异常情况下反应物倒流损坏 MFC 。

B. 对于高压系统，应在MFC 的下游加装背压阀(或其它节流装置)及压力表，以便于保证MFC的工作压差。

C. 注意加装过滤器，以净化气源，延长MFM/MFC 的使用寿命。

D. 对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体，应特别注意系统的密闭性(检漏时不要忽视减压 器)，必要时设计吹洗旁路，随时进行氮气吹洗或正压保持。

E. 有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题，例如采用单点接地。

F. 对于高真空系统，注意气路接头尽量减少并采用VCR 等接头。

G. MFM/MFC 的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零，并安全可靠。

H. 对可靠性要求极高的系统，应注意冗余设计。

3、注意正确使用操作

对于比较复杂的系统或使用特殊气体的系统，应当建立自己的操作规程。

4、注意轻拿轻放妥善保管

MFM/MFC 非常精密，应避免受到撞击和振动。产品不用时注意放在较好的环境中妥善保管。

5、注意定期标定

原则上应当定期标定。

6、注意使用气体与流量计的密封材料相适应

我厂生产的流量计通常采用的密封材料是氟橡胶，能适合大多数气体的使用，包括HCL 这样的强腐蚀性气体。但对于氨气，必须使用耐氨橡胶;对于有机溶剂类气体，如丙酮、甲苯等，必须使用硅橡胶;对于使用三氯化硼、三溴化硼等强腐蚀性介质，必须使用四氟密封或金属密封的流量计。用户在订货和使用中必须特别注意。

7、注意保证MFC 的工作压差

即保证MFC 进气端和出气端的压力差在其指标范围之内。常压系统好保证，一般只要使用减压器即可;高压系统中一般要通过减压器和背压阀的结合使用来保证。