CS200质量流量控制器&流量计

CS系列

CS200气体质量流量控制器，采用先进传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化，所需流量更加精准。

特点：

采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。
CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。
具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

应用：

半导体行业
光伏行业
燃料电池行业
真空行业
分析仪器行业
新型材料
热处理
石油化工
汽车电子
食品行业
实验器材
光纤行业
电力电子
医疗行业

规格：

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