CS300质量流量控制器&流量计

• 准确度采用设定点精度，产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间最快≤ 0.5sec。

• CS300系列产品可带有压力补偿功能，对前段气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量影响，从而保证产品工作的稳定性和准确性。

• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。

• 高端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。

• 半导体行业

SEVENSTAR提供多款高性能、高精度、快速响应的气体质量流量控制器满足半导体行业客户对工艺精准控制的需求。产品提供多种不同的通讯方式满足客户的要求，包括模拟式、数字式、DeviceNet 以及PROFIBUS等，被广泛应用于半导体工艺设备中。