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CS200H质量流量控制器&流量计

CS系列

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CS200H气体质量流量控制是七星流量计生产的数字型高温产品,其电气和机械部分采用分体式的设计,通过高温线缆连接,可以实现在高温环境下工作,能够满足复杂多变的半导体测量需求。

特点:
  • 控制器工作温度:90~120℃。

  • 高控制精度:产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。

  • 快速响应,响应时间≤ 0.8sec。

  • 采用恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。

  • 高端产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,严格按照SEMI标准生产制造。

  • 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。

  • 产品尺寸符合国际通用的SEMI标准,RS485,DeviceNet通讯方式。


应用:

规格:

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