CS330质量流量控制器&流量计

• 新型的金属密封结构形式。该密封结构形式具有密封可靠、装配工艺简单、耐腐蚀等优势，广泛适用于各类气体流量的测量。

• 体积小、零漂小、抗干扰能力强的传感器。该传感器采用上、下游对称性结构设计，从而保证了传感器的零漂小;传感器内部设有保温棉，极大程度降低了环境温度对传感器的影响，从而提高了传感器的抗干扰能力，确保了气体流量检测的精度。

• 先进的人工智能机器人表面抛光技术，CS330系列产品金属表面粗糙度可达0.1RA，严格按照SEMI标准生产制造。

• CS330系列产品支持±8V~±16V双电源或者+14V~+28V单电源供电；支持数字，模拟输入输出。

• CS330系列产品支持多种电气接口，包括DB9、DB15、DeviceNet(侧部、顶部)；支持RS485，DeviceNet通讯方式。

• 半导体行业

SEVENSTAR提供多款高性能、高精度、快速响应的气体质量流量控制器满足半导体行业客户对工艺精准控制的需求。产品提供多种不同的通讯方式满足客户的要求，包括模拟式、数字式、DeviceNet 以及PROFIBUS等，被广泛应用于半导体工艺设备中。